圖1 VB法氧化鎵晶錠

VB法生長(zhǎng)氧化鎵晶體無(wú)需使用銥金，大大降低了生長(zhǎng)成本；同時(shí)，生長(zhǎng)過(guò)程溫度場(chǎng)均勻、溫度梯度較小，更易實(shí)現(xiàn)大尺寸、高質(zhì)量氧化鎵晶體的生長(zhǎng)。此外，VB法生長(zhǎng)過(guò)程穩(wěn)定，更適合自動(dòng)、規(guī)模化生產(chǎn)。

杭州富加鎵業(yè)科技有限公司成立于 2019年 12 月 31 日，是杭州光學(xué)精密機(jī)械研究所注冊(cè)成立的第一家“硬科技〞企業(yè)，公司以“讓世界用上好材料”為愿景，開(kāi)展寬禁帶半導(dǎo)體氧化鎵材料的產(chǎn)業(yè)化工作，主要從事氧化鎵單晶材料生長(zhǎng)、氧化鎵襯底及外延片研發(fā)、生產(chǎn)和銷售工作，產(chǎn)品主要應(yīng)用于功率器件、微波射頻及光電探測(cè)等領(lǐng)域。

公司已獲得多項(xiàng)榮譽(yù)：2022年獲得浙江省科技型中小企業(yè)；2023年獲得國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)；2024年獲得杭州市企業(yè)高新技術(shù)研發(fā)中心及浙江省專精特新中小企業(yè)；承擔(dān)了國(guó)家發(fā)改委氧化鎵項(xiàng)目1項(xiàng)，參與了國(guó)家科技部、浙江省、上海市等國(guó)家及省部級(jí)項(xiàng)目3項(xiàng)。另外，獲得國(guó)際專利授權(quán)12項(xiàng)（美國(guó)6項(xiàng)，日本6項(xiàng)），國(guó)內(nèi)專利授權(quán)37項(xiàng)，“富加鎵業(yè)”商標(biāo)認(rèn)證注冊(cè)3項(xiàng)，軟件著作權(quán)（“一鍵長(zhǎng)晶”控制軟件）2項(xiàng)。