9月10日，杭州富加鎵業(yè)科技有限公司6英寸氧化鎵單晶及外延片生長線在杭州富陽開工建設(shè)。這是國內(nèi)首條6英寸氧化鎵單晶及外延片生長線，與國際同時(shí)起步的6英寸單晶生長技術(shù)及更加適合量產(chǎn)的外延技術(shù)將“換道超車”，助力新型超寬禁帶半導(dǎo)體氧化鎵產(chǎn)業(yè)鏈高質(zhì)量快速發(fā)展。

據(jù)了解，目前國際上僅僅有日本NCT（Novel Crystal Technology, Inc）有6英寸氧化鎵量產(chǎn)計(jì)劃。NCT公司的6英寸氧化鎵單晶及外延片生長線，是其國內(nèi)第一條6英寸氧化鎵單晶及外延片生長線。杭州富加鎵業(yè)是國內(nèi)目前唯一一家同時(shí)具備6英寸單晶生長及外延的公司。該生產(chǎn)線高度集成單晶生長、襯底加工、外延及檢測，項(xiàng)目建成后，具備年產(chǎn)1萬片6英寸氧化鎵單晶及外延片能力。整條產(chǎn)線涉及 “一鍵長晶”單晶生長設(shè)備、多線切割設(shè)備、高精度研磨拋光設(shè)備、倒角設(shè)備、激光加工設(shè)備、全自動(dòng)化晶片清洗設(shè)備、高通量外延設(shè)備、表面缺陷檢測儀、電學(xué)性能測試儀等關(guān)鍵設(shè)備。面向未來，6英寸的氧化鎵單晶及外延片將為下游器件廠商提供穩(wěn)定可控的高質(zhì)量氧化鎵材料。

圖1 6英寸氧化鎵單晶襯底及外延片生長線（杭州富陽）

杭州富加鎵業(yè)科技有限公司成立于 2019年 12 月 31 日，是杭州光學(xué)精密機(jī)械研究所注冊成立的第一家“硬科技〞企業(yè)，公司以“讓世界用上好材料”為愿景，開展寬禁帶半導(dǎo)體氧化鎵材料的產(chǎn)業(yè)化工作，主要從事氧化鎵單晶材料生長、氧化鎵襯底及外延片研發(fā)、生產(chǎn)和銷售工作，產(chǎn)品主要應(yīng)用于功率器件、微波射頻及光電探測等領(lǐng)域。

目前，公司已獲得多項(xiàng)榮譽(yù)：

2022年獲得浙江省科技型中小企業(yè)；2023年獲得國家高新技術(shù)企業(yè)；2024年獲得杭州市企業(yè)高新技術(shù)研發(fā)中心及浙江省專精特新中小企業(yè)；另外，獲得國際專利授權(quán)12項(xiàng)（美國6項(xiàng)，日本6項(xiàng)），國內(nèi)專利授權(quán)37項(xiàng)，“富加鎵業(yè)”商標(biāo)認(rèn)證注冊3項(xiàng)，軟件著作權(quán)（晶體生長控制軟件）2項(xiàng)。